为了提高臭氧的纯度，达到更好的消毒效果，或者为了减少臭氧中衍生的对人体有害的氮氧化合物，通常都是使用纯氧作为臭氧发生器产生臭氧的原料。纯氧的来源通常有2种方式，一是瓶装氧气，二是制氧机现场制造氧气。在这2种方式中，用户使用最多的是制氧机。
制氧机最常见的制造氧气的基本原理，就是利用分子筛吸附方式（PSA），分离空气中比例最大的氮气和其他气体，保留氧气。分子筛是制氧机的最重要部分，也是成本最高的部分。正常的制氧机所制造的氧气，纯度通常在85%以上，使用寿命大约1万小时。
近年来，因为运行成本低，使用方便，越来越多的用户开始使用制氧机为臭氧发生器提供氧气。但国内市场上同时也出现了一种类似制氧机的“富氧机”。这种富氧机，可以说是一种假冒的制氧机，主要缺点是氧气纯度低，使用寿命短，会严重影响臭氧发生器的臭氧产量。
真正的制氧机都是由专业的制氧机厂家生产，或者是制氧机厂家提供机芯组件，由臭氧发生器厂家再组装而成。这种制氧机工艺严谨，各项控制和检测功能完备，特别是其中的分子筛，都是使用专用设备在规定的压力和密度下填装的，能够保证长期稳定制造高纯度的氧气。而“富氧机”都是手工制作的，分子筛也是手工灌装的，控制部分仅仅是几个简单的电磁阀，没有任何检测功能，对氧气和氮气的分离能力很低，即使是全新的“富氧机”，最多也只能制造纯度50-60%的氧气，而如果受到环境潮湿或者灰尘的影响，3个月左右就会失去制造氧气的功能。就算在非常理想的环境下使用，这种“富氧机”通常在6个月以后，最多不超过1年，也会失去制氧功能，所输出“氧气”，就是普通的空气。到时候，同这种“富氧机”配合使用的臭氧发生器就会得不到所需要的氧气，臭氧产量自然就会大幅度降低。比如1台配备了“富氧机”并标称100g/h的臭氧发生器，在其出厂时，就算它真的能达到100g/h的臭氧产量，但通常在3-6个月后，由于“富氧机”逐渐失去了制造氧气的功能，必然导致臭氧发生器无法制造100g/h的臭氧，最后，当“富氧机”完全失去制造氧气的功能时，这台臭氧发生器的实际臭氧产量会减少到40-50g/h。如果一个用户根据设计要求购买了这台100g/h规格的臭氧发生器，那么，很快就会因为臭氧产量严重降低，而不得不重新购买制氧机或者使用瓶装氧气，损失是严重的。
实际上，用户自己也是有办法鉴别是否买到了“富氧机”。一是有些厂家会公开告诉你他们卖的是“富氧机”，但价格便宜。二是用户可以打开机箱查看。“富氧机”都是手工制作的，工艺粗糙，结构简单，没有任何自动检测和控制功能，一望便知。三是使用氧气纯度表检测。如果氧气纯度达不到80%以上，并且手工制作痕迹明显，即可断定是“富氧机”。
珠海银河臭氧设备公司生产的HO系列制氧机，使用的是可靠性更好的医用级进口分子筛，能制造出纯度达到90%的氧气，正常使用寿命超过1万小时，能够长期稳定运行，并具有多项自动监测和控制功能。
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